mask챔버1

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  MASK 개념 Mask 회로를 그리는 과정이 미세한 만큼 반도체 공정에서는 일종의 '틀' 과 같은 것을 이용하는데 정교하게 따라 그릴수 있는 틀이 바로 Mask 이다 위 그림과 같이 빛의 굴절을 활용해 작은 칩안에 패턴을 담는데, 웨이퍼 위에 감광액이 도포되어 있어서 마스크의 형태를 따라 통과하는 빛은 패턴이 새겨지게 된다. Mask는 용도 및 여러가지를 고려하여 설계 한다. 설계는 보통 반도체 마스크라 불리는 석영유리 마스크에서 제작. 석영유리 마스크는 실제 반도체 제품보다 몇배 큰사이즈 이며 정밀한 하고 세밀한 설계를 하는것에 용이 비유를 하자면 웨이퍼는 흰 종이 이고, 노광공정의 UV 는 펜으로 비유 할수 있다. 기술의 뉴 프론티어/혁신의 단계 2020. 5. 16.