MASK 개념

 

Mask 

 

회로를 그리는 과정이 미세한 만큼 

 

반도체 공정에서는 일종의 '틀' 과 같은 것을 이용하는데 

 

정교하게 따라 그릴수 있는 틀이 바로 Mask 이다

 

 

출처 - 삼성 반도체

 

위 그림과 같이 빛의 굴절을 활용해 

 

작은 칩안에 패턴을 담는데, 웨이퍼 위에 감광액이 도포되어 있어서

 

마스크의 형태를 따라 통과하는 빛은 패턴이 새겨지게 된다.

 

 

 

Mask는 용도 및 여러가지를 고려하여 설계 한다.

 

설계는 보통 반도체 마스크라 불리는 석영유리 마스크에서 제작.

 

석영유리 마스크는 실제 반도체 제품보다 몇배 큰사이즈 이며 정밀한 하고 세밀한 설계를 하는것에 용이

 

 

비유를 하자면

 

웨이퍼는 흰 종이 이고, 노광공정의 UV 는 펜으로 비유 할수 있다.