반도체 8대 공정 [산화공정]

산화공정을 거치는 이유

 

웨이퍼에 절연막 역할을 하는 산화막을 형성해 

 

회로와 회로사이 누설전류 차단을 위해 산화공정을 거친다

 

요약하면

 

산화공정을 통해 형성된 산화막이 제조과정에서 

 

보호막 역할을 하는라고 보면 된다.

 

산화공정 두가지 방법

 

출처 sk

출처 삼성

건식산화

 

사소만을 이용해 산화막을 만들어 비교적 막형성 속도가 느리다

 

속도가 느리기 때문에 막두께 조절이 쉽다

 

속도가 느린만큼 전기적 특성이 좋은 산화물을 만들수 있다

 

습식 산화

 

산소와 수증기를 이용해 빠르게 산화물을 만든다.

 

건식에 비해 산화층의 밀도가 낮고 품질도 비교적 안좋다

 

동일한 온도와 시간에서 습식산화를 통해 얻은 산화막은

 

건식산화를 사용한것보다 5~10배 정도 두꺼운 경향을 보인다